Sizector® 3D Camera SX Series
다중 투사 기술로 그림자 없는 3D 측정
상세 설명
광학 검사는 BGA 패키징 및 테스트 분야에서 핵심적인 역할을 하며, 반도체 칩 생산 공정에서 없어서는 안 될 중요한 요소입니다.
이 검사는 일반적으로 웨이퍼 검사, 입자 및 표면 결함 검사, 칩 배치 및 리드 본딩 검사, SMT 검사 등의 단계에서 사용됩니다.
Sizector® 3D 카메라 SX 시리즈는 다중 투사 방식의 구조광과 하드웨어 연산 영상 기술에 기반하여, 몰딩(Molding), 전기도금(Electroplating), BGA 볼, 리드(Leads) 및 다양한 3D 측정 작업에서 고품질 3D 포인트 클라우드를 제공합니다.
또한 단일 방향 투사 영상에서 발생할 수 있는 그림자나 블라인드 스팟(측정 사각지대)을 효과적으로 제거하고, 고정밀 그림자 없는 3D 측정을 실현합니다.
이를 통해 공정 제어 및 품질 관리에 효과적인 데이터 지원을 제공하고, 생산 효율성을 향상시킬 수 있습니다.
[Lithium Battery Sealing Nail] [IGBT Bonding Wire] [Flat Wire Motor Welding Points] [BGA Solder Ball]
■ 그림자 제거, 고반사 억제 및 고정밀 3D 포인트 클라우드 생성
: 다중 투사(Multi-projection) 기술을 활용하여 다양한 투사 방향에서 여러 그룹의 3D 포인트 클라우드를 수집하고 하드웨어 차원에서 융합함으로써 더 높은 완성도의 데이터를 제공합니다.
■ 고정밀 & 고속 처리
: 카메라 하드웨어 내에서 다중 3D 데이터를 융합하여 고정밀 3D 포인트 클라우드를 직접 출력합니다. 기존 PC 기반 시스템과 비교해 데이터 전송량이 대폭 감소하며, 계산 속도는 저하되지 않습니다.
■ 픽셀 단위 정렬된 2D+3D 데이터로 고해상도 측정 일원화 실현
: 텔레센트릭 렌즈를 사용하여 2D와 3D 데이터를 픽셀 단위로 정밀하게 정렬하고, 외부 광원과의 동기화를 통해 2D+3D 일체형 측정 및 검사 작업을 실현합니다. 외부 RGB 조명을 활용하면 베이어(Bayer) 필터 없이 고해상도 3D 데이터와 고정밀 3CCD 트루 컬러 이미지를 동시에 얻을 수 있습니다.
| Multi Projectors & Telecentric Lens | SS081017 | ST081017 | SQ081017 | ST081032C | ST081043 | SQ081043 | ST162053 | SQ162053 | SQ081060N |
| SQ081017N | SQ081043N | SQ162053N | |||||||
| Projector Quantity | 1 | 2 | 4 | 2 | 2 | 4 | 2 | 4 | 4 |
| Framerate of Whole Cycle Time | ≤5.4FPS ≤18.7FPS(Binning) | ≤3.0FPS ≤10.5FPS(Binning) | ≤1.4FPS ≤4.8FPS(Binning) | ≤3.0FPS ≤10.5FPS(Binning) | ≤2.7FPS ≤9.6FPS(Binning) | ≤1.5FPS ≤5.3FPS(Binning) | ≤2.0FPS ≤7.3FPS(Binning) | ≤1.0FPS ≤3.6FPS(Binning) | ≤1.5FPS ≤5.2FPS(Binning) |
| Resolution(Mega Pixels) | 8.1M（2856x2848） | 8.1M（2856x2848） | 8.1M（2856x2848） | 8.1M（2856x2848） | 8.1M（2856x2848） | 8.1M（2856x2848） | 16.2M（5328x3040） | 16.2M（5328x3040） | 8.1M（2856x2848） |
| Reference Distance（mm） | 115 | 115 | 115 | 120 | 105 | 105 | 185 | 185 | 195 |
| Standard FOV（mm） | 17.7x17.7 | 17.7x17.7 | 17.7x17.7 | 32.8x32.7 | 43.4x43.3 | 43.4x43.3 | 53x30.2 | 53x30.2 | 61.6x61.4 |
| Measurement Range（mm） | ±2 | ±2 | ±2 | ±5 | ±4 | ±5 | ±10 | ±10 | ±6 |
| Area Repeatability Z（1σ）（um）*1、*2 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.16 | <0.2 | <0.2 | <0.3 | <0.3 | <0.5 |
| Pixel Interval（mm） | 0.006 | 0.006 | 0.006 | 0.011 | 0.015 | 0.015 | 0.01 | 0.01 | 0.021 |
| Dimensions（LxWxH,mm) | 202.5x88x285 | 305x88x285 | 305x305x285 | 280x77x244 | 310x114.5x280 | 300x300x280 | 330x130x335 | 330x330x335 | 327x127x280.5 |
| 299x299x230(N) | 319x319x233(N) | 329x329x284.5(N) | |||||||
| Weight（kg） | <4.7 | <5.6 | <7.1 | <3.9 | <6 | <7 | <8.5 | <11 | 7.9 |
| 4.9(N) | 5.0(N) | 6.5(N) |
| Multi Projectors & FA Lens | STF162090 | ||||||||
| Projector Quantity | 2 | ||||||||
| Framerate of Whole Cycle Time | ≤2.0FPS ≤7.3FPS(Binning) | ||||||||
| Resolution(px)（px） | 16.2M（5328x3040） | ||||||||
| Clearance Distance(mm) | 130 | ||||||||
| Standard FoV(mm) | 90x51.4 | ||||||||
| Measurement RangeZ(mm) | ±15 | ||||||||
| Area RepeatabilityZ*1、*2(μm) | <0.05 | ||||||||
| Pixel interval(mm) | 0.017 | ||||||||
| Dimensions(LxWxH,mm) | 340x166x57.5 | ||||||||
| Weight (kg) | <3.4 |