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PSD 광학 검사기는 고해상도 라인 스캔 카메라와 대형 반사 미러 시스템을 활용하여, 반도체 웨이퍼, 유리, 필름 등의 표면 결함을 비접촉 방식으로 검사하는 장비입니다.

초정밀 평탄도 및 이물, 스크래치, 패턴 이상 등을 광학적으로 검출하며, 정반사 및 편광 조명 시스템과 결합하여 고난이도 표면 분석에 최적화되어 있습니다.

 

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■ 고해상도 라인 스캔 카메라 탑재

고속 데이터 전송이 가능한 산업용 고해상도 카메라를 탑재하여, 넓은 면적의 검사 대상도 고정밀로 스캔합니다.
나노 패턴 수준의 미세한 결함 검출이 가능하며, Line-by-Line 방식으로 고속 이동 검사 중에도 해상도 손실 없이 데이터를 확보합니다.

 

■ 대형 반사 미러 기반 광학계 구조

검사 대상의 정반사 이미지를 확보하기 위해 최적화된 미러 시스템이 적용되어 있으며, 카메라와 대칭 구조로 정밀하게 배치되어 있습니다.
기구 정렬 편차와 광학 왜곡을 최소화하는 구조로, 검출 신뢰도를 크게 향상시킵니다.

 

■ 비접촉식 정밀 표면 검사

웨이퍼, 글라스, 코팅 필름 등 물리적 접촉이 불가한 소재에 대해 비접촉 방식으로 표면 상태를 검사하며, 패턴 정합, 크랙, 잔기스, 이물 등을 실시간 검출합니다.

 

■ 광학 조명 및 반사 최적화 설계

반사 조명 및 편광 조명을 조합한 조명 시스템이 적용되어, 반사율이 높은 소재나 곡면 영역에서도 안정적인 광량 확보가 가능합니다.
광원 색온도 및 조도는 공정 조건에 따라 유연하게 조정됩니다.

 

■ 고속 데이터 처리 및 분석 UI

전용 소프트웨어를 통해 검사 영역별 결함 데이터를 실시간 분석하고, 결과를 시각화된 GUI로 출력합니다.
검사 조건 저장, 결함 로그 기록, 불량 분류 및 좌표 저장 기능도 함께 제공합니다.

 

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■ 적용 분야

• 반도체 웨이퍼 표면 검사

• 유리, 글라스, 고광택 필름 결함 검사

• 금속 시트, 패턴 라미네이팅 품질 검출

• 비접촉 방식이 요구되는 정밀 소재 검사